158MHz GaAs声表面波固定延迟线的研制  

158MHz Surface Acoustic Wave Fixed\| Delay Line on GaAs\+*

作　　者：李洪芹[1] 夏冠群[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海冶金研究所,上海200050

出　　处：《Journal of Semiconductors》2000年第1期93-96,共4页半导体学报（英文版）

摘　　要：报道了ＧａＡｓ声表面波（ＳＡＷ）固定延迟线的设计方法和ＳＡＷ 器件金属剥离制造新工艺．研制出ＧａＡｓ ＳＡＷ 延迟线，典型参数为：中心频率１５８ＭＨｚ，插入损耗低于５５ｄＢ，延迟时间１．５μｓ．A design method and a new Metal lift\|off manufacture technology of GaAs surface acoustic wave (SAW) fixed\|delay line is given.We have developed the SAW fixed\|delay line on GaAs.Its typical parameters are as follows:the center frequency is 158MHz with the insertion loss of less than 55dB and the delay time is 1 5μs.

关 键 词：延迟线 声表面波 砷化镓 声表面波器件 

分 类 号：TN011.4[电子电信—物理电子学]