一种傅立叶变换红外光谱仪动镜扫描系统的设计  

Design of the Moving Mirror Scanning System for a FT-IR Spectrometer

作　　者：李胜 张玉钧[1] 高闽光 徐亮 童晶晶 金岭 

机构地区：[1]中国科学院安徽光学精密机械研究所环境光学与技术重点实验室,合肥230031

出　　处：《红外技术》2012年第1期48-52,共5页Infrared Technology

基　　金：国家自然科学基金项目(40905011);国家"863"计划项目(2007AA061504);安徽省科技计划科技攻关项目(09010301016)

摘　　要：针对一种倾斜补偿摆动式干涉仪,利用旋转式音圈电机作为驱动单元,设计了扫描控制反馈系统,建立了控制系统的数学模型,分析了系统的性能参数,并将PID控制应用于系统的反馈控制设计,提高了系统的稳态性能和动态性能。结果表明,在波数为8000cm-1时对应干涉图频率的相对误差达到了0.67%,在实际应用中表现出良好的稳定性和可靠性,能够满足大气环境监测对傅立叶变换红外光谱仪的需要。The feedback control system and model of moving mirror scanning system to a tilt compensated rotated Michelson interferometer for Fourier transform infrared （FT-IR） spectrometer are presented in this paper, with a rotary voice coil motor driver. The system performance is analyzed and a PID controller is added to the control system to improve the static and dynamic performance. The experiments have shown that the relative frequency error is 0.67% at wavenumber of 8000 cm-1, This system has shown a good stability and reliability in practical application, and can be used in the FT-IR spectrometer for atmosphere monitoring.

关 键 词：傅立叶变换红外 干涉仪 动镜 扫描系统 反馈控制 PID 

分 类 号：TN216[电子电信—物理电子学]