GLOBALFOUNDRIES德累斯顿工厂出货第25万枚32nm HKMG晶圆  

出　　处：《电子工业专用设备》2012年第4期63-63,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：GLOBALFOUNDRjES日前宣布，其在德国德累斯顿的Fab1工厂出货已超25万个基于32n／n高K金属栅制程技术（HKMG）的半导体晶圆。这一里程碑体现了GLOBALFOUNDRIES同其它代工厂相比在HKMG制程技术制造方面的重要领先性和其一直秉承的将前沿技术快速实现量产的历史传统。

关 键 词：工厂 晶圆 制程技术 历史传统 快速实现 半导体 金属栅 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]