MEMS陀螺技术的发展现状与趋势  

作　　者：董冀[1] 周芳[1] 张勇[1] 

机构地区：[1]北方通用电子集团有限公司微电子部,苏州215163

出　　处：《集成电路通讯》2012年第2期41-48,共8页

摘　　要：随着MEMS（MicroElectroMechanicalSystem）技术的深入研究取得的进展，MEMS陀螺（也称微机械陀螺）已经成为过去几十年内广泛研究和发展的主题。MEMS陀螺与传统的机械陀螺、固体陀螺、光学陀螺等相比，具有成本低、尺寸小、重量轻、可靠性高、功耗低等优点，其精度正不断得到提高，应用领域也随之不断扩大。MEMS陀螺已成为未来战术级和中低精度导航应用的主流惯性传感器。美国Honeywell公司HG1900、HG1930等组件中均使用了MEMS陀螺，并成功的应用于联合制导弹药（JDAM）等精确制导弹药中。民用级MEMS产品在今后几年的年增长率将超过100％。

关 键 词：MEMS 微机械陀螺 哥氏加速度 

分 类 号：V249.322[航空宇航科学与技术—飞行器设计]