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作　　者：王玲 

出　　处：《微纳电子技术》2012年第8期562-562,共1页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：Schott公司推出MEMS产业超薄玻璃晶圆 北美Schott公司面向MEMS技术应用市场，凭借MEMpax 推出了新型超薄高品质硼硅玻璃晶圆，图1所示为其超薄高品质MEMpax 硼硅酸盐玻璃。

关 键 词：产品 超薄玻璃 MEMS技术 硼硅酸盐玻璃 tt公司 EMS产业 硼硅玻璃 晶圆 

分 类 号：TQ171.7[化学工程—玻璃工业]