主动型氢原子钟吸气剂泵的实验研究  

Experimental research on the getter pump of the active hydrogen maser

作　　者：杨浩[1] 张燕军[1] 刘俊[1] 王文明[1,2] 张为群[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海天文台,上海200030 [2]中国科学院研究生院,北京100049

出　　处：《真空》2012年第5期7-9,共3页Vacuum

摘　　要：为提高上海天文台的主动型氢原子钟真空维持系统——240 L/s钛溅射离子泵3～4年就可能出现的可靠性问题,研制了非蒸散型吸气剂泵和2 L/s小离子泵组成的复合泵。描述了复合泵的实验过程,吸气剂在450℃激活,在室温下吸收6.3 MPa.L的氢气后仍可达到5.9×10-5 Pa的真空度,2 L/s的离子泵电流工作在0.7μA,证明了复合泵可以维持主动型氢钟10年以上的正常工作。An integration pump of non-evaporative getter pump with 2L/s sputtering ion pump was developed to replace the Ti sputtering ion pump （240L/s） which tends to break down after 3-4 years. This article describes the experimental process of the compound pump. The vacuum is about 5.9x10-5 Pa when 6.3MPa.L HE. is absorbed at room temperature with the ion pump current 0.7p, A. It is shown that the compound pump can maintain the active hydrogen maser for more than 10 years of work.

关 键 词：氢原子钟 溅射离子泵 非蒸散型吸气剂 激活 真空 

分 类 号：TB752.5[一般工业技术—真空技术]