二维超精密定位系统设计与仿真  

Simulation and Design of Ultra Precision Positioning System

作　　者：曹卫锋[1] 曲和高[2] 

机构地区：[1]榆林学院,榆林719000 [2]长安大学,西安710064

出　　处：《科学技术与工程》2012年第27期7071-7073,7088,共4页Science Technology and Engineering

基　　金：国家自然科学基金(50168022);榆林学院高层次人才科研启动基金资助

摘　　要：在分析对比了两种典型柔性铰链机构运动特性的基础上,设计了一种无耦合位移、应力集中低的改进复合双平行四杆机构,并用该机构构成了微动系统。微动系统理论分析与有限元仿真的结果表明,该微动系统的设计达到要求。On basis of analyzing and comparing motion characteristics of the two types of traditional flexure hinges,a double four-bar mechanism,which has advantages of non-parasite displacement and little concentrated stress,is presented to form the micro driving system.The theoretical analysis and finite element simulation verifies the micro driving system feasible for our purpose.

关 键 词：超精密定位 柔性铰链 微位移机构 有限元分析 

分 类 号：TH702[机械工程—仪器科学与技术]