金属等离子体浸没动态离子束增强沉积  

METAL PLASMA IMMERSION DYNAMIC ION BEAM ENHANCED DEPOSITION

作　　者：张涛[1] 侯君达[1] 张孝吉[1] 张荟星[1] 朱剑豪[2] 田修波[2] 曾照明[2] 

机构地区：[1]北京师范大学低能核物理研究所,北京市辐射中心,北京100875 [2]香港城市大学物理材料系

出　　处：《北京师范大学学报（自然科学版）》2000年第3期329-331,共3页Journal of Beijing Normal University(Natural Science)

基　　金：国家"八六三"计划资助项目;北京市科技新星计划资助项目!(95 2 870 40 0 )

摘　　要：采用由阴极真空弧等离子体源、负脉冲高压靶台和磁过滤系统组成的金属等离子体浸没动态离子束增强沉积系统 ,对 30 4L不锈钢进行金属等离子体浸没动态离子束增强沉积处理 .对试样予以电化学测试和AES分析 .动态增强沉积试样比非增强沉积试样有更强的抗电化学腐蚀能力 .L steel samples are processed using a metal plasma im mersion dynamic ion beam enhanced deposition system. AES result shows that a 40 nm interlayer are formed in between the film and the substrate. This process h as an advantage over non-IBED process in improving the corrosion resistance of 304 L steel.

关 键 词：动态增强沉积 等离子体浸没 表面改性 薄膜 

分 类 号：TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理] O539[金属学及工艺—金属学]