侯君达

作品数：8被引量：23H指数：3
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供职机构：北京师范大学核科学与技术学院低能核物理研究所更多>>
发文主题：金属NBN表面改性等离子体表面处理更多>>
发文领域：理学金属学及工艺一般工业技术更多>>
发文期刊：《北京师范大学学报（自然科学版）》《核技术》《中国表面工程》《真空》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划北京市科技新星计划北京市自然科学基金国家科技攻关计划更多>>
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磁过滤的阴极弧等离子体源及其薄膜制备被引量：1
《中国表面工程》2002年第2期11-15,20,共6页张涛 侯君达 刘志国 张一聪 
"十五""863"项目(2001AA338020-3);北京自然科学基金(1002005);北京科技新星计划(952870400)
采用磁过滤弯管滤除阴极弧等离子体中的大颗粒,研究了偏压和导向磁场对磁过滤弯管传输效率的影响。建立了磁过滤弯管中正交电场和磁场下的等离子体扩散模型,分析各个参数对等离子体传输的作用规律。采用磁过滤的阴极弧等离子体源制备了...
关键词：阴极弧等离子体 扩散 薄膜 磁过滤 
钇离子束动态增强沉积氮化钛膜
《核技术》2002年第1期25-28,共4页张涛 侯君达 李国卿 
国家 8 6 3计划项目 (86 3- 715 - 2 3- 0 2 - 0 1)资助
在膜层上接收注入钇离子和沉积钛原子比例Y+ :Ti=1:12的条件下 ,采用钇离子束动态增强沉积方法 ,在纯铁等基体上制备氮化钛膜层试样。对试样予以电化学测试和AES、XRD分析。XRD结果未发现钇单质或氮化钇的衍射峰。载能金属离子的动态增...
关键词：动态增强沉积 钇离子束 表面改性 氮化钛膜 金属 铁基体 抗蚀性能 抗电化学腐蚀能力 
沉积温度对NbN膜层微观结构的影响被引量：3
《北京师范大学学报（自然科学版）》2001年第1期41-44,共4页宋教花 张涛 侯君达 邓志威 李永良 马芙蓉 
国家"八六三"计划资助项目
利用有磁过滤器的等离子体沉积装置 ,在不同温度的Si基底上沉积氮化铌 (NbN)薄膜 ,通过XRD ,XPS ,SEM等分析 ,研究了NbN薄膜的表面形貌与微观结构跟温度的关系 .发现沉积温度对择优取向有较强的影响 :从室温到约 30 0℃得到的薄膜在 (2 ...
关键词：等离子体沉积 氮化铌薄膜 沉积温度 微观结构 择扰取向 表面形貌 基底温度 
阴极弧等离子体沉积NbN薄膜被引量：1
《真空》2001年第1期28-31,共4页宋教花 张涛 侯君达 邓志威 李永良 
利用磁过滤等离子体沉积装置 ,结合金属等离子体沉积技术 ,在 Si基底上分别用动态离子束增强沉积和非增强沉积的方法来制备 Nb N膜 ,对二者予以比较 ,并探讨了非增强沉积过程中基底温度对 Nb N膜层的影响。温度升高使膜层中 N的含量先...
关键词：等离子体沉积 动态离子束增强沉积 温度 氮化铌薄膜 硅 性能 制备 
金属等离子体浸没离子注入技术合成NbN膜被引量：4
《北京师范大学学报（自然科学版）》2000年第5期623-625,共3页宋教花 张涛 侯君达 邓志威 
国家"八六三"计划资助项目
利用无大颗粒的金属等离子体浸没增强沉积技术 ,在Si基体上进行动态离子束增强沉积NbN ,在低温下制成了NbN薄膜 .薄膜表面细密光滑 ,退火前其硬度 >16 .8MN·mm- 2 ,退火后硬度 >16 .0MN·mm- 2 .
关键词：氮化铝 金属等离子体 离子注入 表面处理 
金属等离子体浸没动态离子束增强沉积被引量：1
《北京师范大学学报（自然科学版）》2000年第3期329-331,共3页张涛 侯君达 张孝吉 张荟星 朱剑豪 田修波 曾照明 
国家"八六三"计划资助项目;北京市科技新星计划资助项目!(95 2 870 40 0 )
采用由阴极真空弧等离子体源、负脉冲高压靶台和磁过滤系统组成的金属等离子体浸没动态离子束增强沉积系统 ,对 30 4L不锈钢进行金属等离子体浸没动态离子束增强沉积处理 .对试样予以电化学测试和AES分析 .动态增强沉积试样比非增强沉...
关键词：动态增强沉积 等离子体浸没 表面改性 薄膜 
MEVVA源金属离子注入和金属等离子体浸没注入被引量：6
《中国表面工程》2000年第3期8-12,共5页张涛 侯君达 
国家863高技术项目资助!(863-715-008-0040)
MEVVA源金属离子注入技术和金属等离子体浸没注入技术MePIII的共同特性是强流金属离子注入。它们各具长处，相互补充，共同发展。前者因无鞘层重叠问题和其方向强的特点，特别适用于小件、简单件的大批量金属离子注入处理，能保证处理...
关键词：金属离子注入 MEVVA源 PIll技术 
磁过滤弯管的金属等离子体传输研究被引量：8
《北京师范大学学报（自然科学版）》2000年第1期49-51,共3页张涛 侯君达 张荟星 张孝吉 
国家"八六三"计划资助项目;北京市科技新星计划!(95 2 870 40 0 )资助项目
测定了磁过滤弯管出口离子电流与阴极弧流的关系 .磁过滤弯管内表面中 ,靠近大径中心一侧的表面 (内侧面 )和远离大径中心一侧的表面 (外侧面 )与等离子体的相互作用是独立的 .整个磁过滤弯管偏压较仅仅Bilek板偏压有更高的离子传输效率 .
关键词：阴极弧离子源 磁过滤弯管 等离子体 传输 
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