择扰取向

作品数：1被引量：3H指数：1
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沉积温度对NbN膜层微观结构的影响被引量：3
《北京师范大学学报（自然科学版）》2001年第1期41-44,共4页宋教花 张涛 侯君达 邓志威 李永良 马芙蓉 
国家"八六三"计划资助项目
利用有磁过滤器的等离子体沉积装置 ,在不同温度的Si基底上沉积氮化铌 (NbN)薄膜 ,通过XRD ,XPS ,SEM等分析 ,研究了NbN薄膜的表面形貌与微观结构跟温度的关系 .发现沉积温度对择优取向有较强的影响 :从室温到约 30 0℃得到的薄膜在 (2 ...
关键词：等离子体沉积 氮化铌薄膜 沉积温度 微观结构 择扰取向 表面形貌 基底温度 
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