微波等离子体增强化学气相沉积方法制备碳氮纳米管及其结构表征  

作　　者：马旭村[1] 徐贵昌[1] 王恩哥[1] 

机构地区：[1]中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室,北京100080

出　　处：《中国科学（E辑）》2000年第2期117-121,共5页Science in China(Series E)

基　　金：中国科学院和国家重点基础研究专项经费资助

摘　　要：利用微波等离子体增强化学气相沉积方法 ,在多孔二氧化硅基底上制备了大面积取向一致的碳氮纳米管薄膜 .采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜和能量散射X射线能谱仪分别进行了纳米管的形貌、结构和成分的研究 .结果表明这种纳米管的直径一般为 10 0nm ,长度可达 2 0 μm ,为纳米钟的线性聚合物 .纳米管的成分中同时均匀含有C ,N两种元素 .进一步的X射线光电子能谱结果证明了C与N之间以成键结合 .这预示着一种新的C1-xNx(x =0 .16± 0 .0 1)相出现在纳米管结构中 .

关 键 词：碳氮纳米管 微波等离子体 结构 MWPCVD 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程]