云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- MWPCVD

MWPCVD: 作品数：20被引量：40H指数：3; 导出分析报告; 相关领域：理学一般工业技术更多>>; 相关作者：邬钦崇舒兴胜杨国伟俞世吉马腾才更多>>; 相关机构：中国科学院等离子体物理研究所湘潭大学大连理工大学合肥工业大学更多>>; 相关期刊：《高技术通讯》《电子科技大学学报》《无机化学学报》《物理学报》更多>>; 相关基金：国家高技术研究发展计划湖南省自然科学基金国家教委资助优秀年轻教师基金国家重点基础研究发展计划更多>>

Integrated Carbon Nanotubes Electrodes in Microfluidic Chip via MWPCVD: 《Plasma Science and Technology》2010年第5期556-560,共5页王升高王明洋余冬冬张文波邓晓清杜宇程莉莉汪建华; Supported by National Natural Science Foundation of China (Nos.50572075, 51072140);the Young and Middle-Aged Elitists' Scientific and Technological Innovation Team Project of the Institutions of Higher Education in Hubei Province of China; the Scientific Research Projects of Hubei Education Department of China (Z200715001); An on-chip electrochemical detector for microfluidic chips was described, based on integrated carbon nanotube （CNT） electrodes directly onto the chip substrate through microwave plasma chemical vapor deposition （MW...; 关键词：microfluidic chip integrated carbon naotube electrodes microwave plasmachemical deposition amperometrie detection

Influence of Pretreatment Conditions of Stainless Steel Substrates on Field Emission Properties of Carbon Nanotubes Films被引量：4: 《Journal of Semiconductors》2004年第11期1349-1354,共6页樊志琴张兵临姚宁鲁占灵杨仕娥马丙现; Carbon nanotubes (CNTs) are synthesized from methane and hydrogen gas mixture directly on stainless steel plates by microwave plasma chemical vapor deposition (MWPCVD).By varying pretreatment conditions of the substra...; 关键词：carbon nanotube MWPCVD field emission Raman spectroscopy

MWPCVD低温合成纳米碳管的生长机理被引量：4: 《无机化学学报》2002年第6期611-614,共4页王升高汪建华满卫东马志彬王传新; The synthesis of carbon nanotubes￡¨CNTs ￡(c)at low temperature has received a gre at deal of attention and be-comes a challenging issue￡(r)But few mo del which accounts for the growth of C NTs is suited for the sy...; 关键词：MWPCVD 低温合成钠米碳管生长机理微波等离子体化学气相沉积法

Synthesis of Carbon Nanotubes by MWPCVD at Low Temperature: 《Plasma Science and Technology》2002年第1期1135-1140,共6页王升高汪建华王传新马志彬满卫东; Growth of carbon nanotubes (CNTs) at low temperature is very important to the ap- plications of nanotubes. In this paper, under the catalytic effect of cobalt nanoparticles supported by SiO2, CNTs were synthesized by ...; 关键词：CNTS Synthesis of Carbon Nanotubes by MWPCVD at Low Temperature

氧气对MWPCVD制备金刚石膜的影响被引量：8: 《真空科学与技术》2001年第4期281-284,290,共5页舒兴胜邬钦崇梁荣庆; 8 6 3计划资助项目 (86 3 715 0 0 2 0 0 2 0 ); 在水冷反应室式微波等离子体化学气相沉积装置中以混合的CH4 H2 O2 为反应气体 ,研究了O2 浓度对制备金刚石膜的影响。实验发现 ,很低浓度的O2 会显著促进金刚石的沉积 ,并稍稍抑制非晶C的沉积 ,因而沉积膜中非晶C的含量急剧下降 ;较...; 关键词：微波等离子体化学气相沉积金刚石膜氧气制备浓度抑制作用非晶碳

MWPCVD制备金刚石膜装置的大功率稳定运行的研究: 《高技术通讯》2001年第7期88-90,共3页舒兴胜邬钦崇; 863计划资助项目 (863-715- 002-0020); 介绍了水冷反应室式MWPCVD制备金刚石膜装置的结构和工作原理 ,着重讨论了该装置长时间大功率稳定运行的措施。该装置在微波输入功率为 3 0kW时能长时间稳定运行。; 关键词：MWPCVD装置稳定运行微波功率金刚石膜薄膜制备装置结构

反应气压对MWPCVD金刚石膜中非金刚石相碳含量的影响被引量：2: 《真空科学与技术》2001年第2期162-165,共4页舒兴胜邬钦崇梁荣庆; 8 63计划资助项目! (863 715 0 0 2 0 0 2 0 ); 在水冷反应室式MWPCVD装置中以CH4 和H2 为反应气体进行了金刚石膜的沉积实验 ,研究了反应气体的压强对金刚石膜中非金刚石碳相含量的影响。实验发现 ,当微波输入功率较小时 ,随着反应气压的上升 ,沉积膜中非金刚石相碳的含量单调下降 ...; 关键词：微波等离子体化学气相沉积金刚石膜气压非金刚石相碳含量制备

WC-Co硬质合金表面不同去钴预处理方法的比较研究被引量：1: 《真空科学与技术》2001年第1期71-73,70,共4页俞世吉丁振峰马腾才邬钦崇; 8 6 3计划资助项目; 用微波等离子体化学气相沉积 (MWPCVD)制备金刚石薄膜涂层之前 ,采用盐酸、硝酸化学腐蚀和氢氧等离子体对WC Co硬质合金 (YG6 )基体表面进行去钴预处理。扫描电子显微镜形貌观察和X射线衍射谱分析都表明 ,与化学腐蚀方法相比 ,氢氧等...; 关键词：WC-CO硬质合金去钴预处理氢-氧等离子体表面处理金刚石薄膜 MWPCVD

水冷反应室式 MWPCVD制备金刚石膜装置研制被引量：1: 《真空与低温》2001年第1期15-17,20,共4页舒兴胜邬钦崇; 国家 863计划资助项目!项目号: 715- 002- 0020; 微波等离子体化学气相沉积 (MWPCVD)是制备金刚石膜的一种重要方法。为了获得金刚石膜的高速率大面积沉积，研制成功了水冷反应室式 MWPCVD制备金刚石膜的装置。装置在微波输入功率为 3.0 kW时能长时间稳定运行，并在硅衬底上沉积出金...; 关键词：MWPCVD装置稳定运行金刚石膜制备装置微波等离子体化学气相沉积

基片位置对MWPCVD制备金刚石薄膜的影响被引量：2: 《真空科学与技术》2000年第2期131-133,共3页俞世吉丁振峰马腾才邬钦崇; 863计划资助; 在石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积实验装置中研究了基片位置对金刚石薄膜沉积质量的影响。扫描电子显微镜显微形貌观察和激光喇曼谱分析表明 ,对微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜而言 ,基片位置处于近等离子体球下游区域将...; 关键词：等离子体化学气相沉积金刚石薄膜基片位置

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