国内首台化学束外延(CBE)系统的设计考虑及外延结果  

作　　者：孙殿照[1] 孔梅影[2] 韩汝水 朱世荣 阎春辉 国红熙 付首清 周增圻 张晓秋 黄运衡 谢琪[3] 刘世闯[3] 雷震林[3] 张利强[3] 余文斌[3] 乔金梁[3] 

机构地区：[1]中国科学院半导体所 [2]中国科学院半导体所中国科学院半导体材料科学开放实验室 [3]中国科学院沈阳科仪厂,沈阳110003

出　　处：《半导体情报》1991年第6期79-80,共2页Semiconductor Information

摘　　要：研制了国内首台化学束外延(CBE)系统。半导体所用此系统进行了CBE实验,获得质量良好的半导体材料。本文给出该系统的设计考虑及CBE实验结果。

关 键 词：化学束外延 设备 半导材料 设计 

分 类 号：TN304.054[电子电信—物理电子学]