谢琪

作品数：4被引量：6H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国科学院更多>>
发文主题：分子束外延IC硅UHV/CVD半导体薄膜技术更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《真空》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-4
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
UHV/CVD 设备及其特性被引量：6
《真空》1997年第6期14-17,共4页雷震霖 赵科新 余文斌 任国豪 谢琪 余金中 成步文 于卓 王启明 杨乃恒 
本文描述超高真空化学气相淀积系统（ＵＨＶ／ＣＶＤ）的设计思想、系统的结构和性能，着重介绍超高真空的获得和系统的特点，将为“第二代硅”ＳｉＧｅ／Ｓｉ异质结材料的生长及未来的光电子集成提供有力的工具。
关键词：硅 IC 设计 UHV/CVD 半导体薄膜技术 
国内首台化学束外延(CBE)系统的设计考虑及外延结果
《半导体情报》1991年第6期79-80,共2页孙殿照 孔梅影 韩汝水 朱世荣 阎春辉 国红熙 付首清 周增圻 张晓秋 黄运衡 谢琪 刘世闯 雷震林 张利强 余文斌 乔金梁 
研制了国内首台化学束外延(CBE)系统。半导体所用此系统进行了CBE实验,获得质量良好的半导体材料。本文给出该系统的设计考虑及CBE实验结果。
关键词：化学束外延 设备 半导材料 设计 
金属有机源分子束外延设备的研制
《半导体情报》1991年第6期80-82,共3页谢琪 刘世闯 雷震霖 张利强 余文斌 乔金梁 孔梅影 孙殿照 韩汝水 朱世莱 阎春辉 
本文报道了金属有机源分子束外廷设备的设计方案和技术特点。该设备最大样品尺寸为3英寸,3室结构,空气闭锁换样,6条气路。
关键词：金属 有机化合物 分子束外延 设备 
用于物理研究的分子束外延模拟实验装置
《真空科学与技术学报》1990年第2期95-98,共4页董国胜 侯晓远 丁训民 陈平 张恩善 谢琪 
本文报道了一台用于物理研究的分子束外延模拟实验装置的设计和调试。这一模拟实验装置和商业化的大型测试仪器相连接,允许在不破坏超高真空状态时测试用分子束外延方法制备的样品,提供了开展应用研究和在线检测的手段。
关键词：分子束外延 物理研究 模拟实验装置 在线检测 测试仪器 束源 样品架 物理测试 准备室 应用研究 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部