用于物理研究的分子束外延模拟实验装置  

AN EXPERIMENTAL SIMULATION SYSTEM OF MOLECULAR BERM EPITAXY APPLIED TO PHYSICS RESEARCHES

作　　者：董国胜[1] 侯晓远[1] 丁训民[1] 陈平[1] 张恩善 谢琪[2] 

机构地区：[1]复旦大学表面物理实验室 [2]中国科学院沈阳科学仪器厂

出　　处：《真空科学与技术学报》1990年第2期95-98,共4页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

摘　　要：本文报道了一台用于物理研究的分子束外延模拟实验装置的设计和调试。这一模拟实验装置和商业化的大型测试仪器相连接,允许在不破坏超高真空状态时测试用分子束外延方法制备的样品,提供了开展应用研究和在线检测的手段。In this paper is reported the design and the settlement of an experimental simulation system of molecular beam epitaxy applied to physics researches. This system is connected to a complex commercial analysis system so as to realize the in situ characterization of the samples grown by molecular beam epitaxy, which offers a way to perform some applied researches or sample on-line measurement.

关 键 词：分子束外延 物理研究 模拟实验装置 在线检测 测试仪器 束源 样品架 物理测试 准备室 应用研究 

分 类 号：TB7-55[一般工业技术—真空技术]