金属有机源分子束外延设备的研制  

作　　者：谢琪[1] 刘世闯[1] 雷震霖[1] 张利强[1] 余文斌[1] 乔金梁[1] 孔梅影[2] 孙殿照[2] 韩汝水[2] 朱世莱 阎春辉 

机构地区：[1]中国科学院沈阳科仪厂,沈阳110003 [2]中国科学院半导体所,北京100084

出　　处：《半导体情报》1991年第6期80-82,共3页Semiconductor Information

摘　　要：本文报道了金属有机源分子束外廷设备的设计方案和技术特点。该设备最大样品尺寸为3英寸,3室结构,空气闭锁换样,6条气路。

关 键 词：金属 有机化合物 分子束外延 设备 

分 类 号：TN304.054[电子电信—物理电子学]