华润上华200V SOI工艺实现量产  

出　　处：《集成电路应用》2012年第12期46-46,共1页Application of IC

摘　　要：华润上华科技有限公司（华润微电子有限公司附属公司）近日宣布，继2010年首颗200V SOI CDMOS产品量产后，具有更高性价比的第二代SOI工艺实现量产。该工艺是一种集成多种半导体器件的集成电路制造技术，

关 键 词：SOI工艺 集成电路 半导体器件 高性价比 制造技术 微电子 第二代 

分 类 号：TN402[电子电信—微电子学与固体电子学]