微传感器和执行器的计算机模拟技术  

Computer simulation of microsensors and microactuators

作　　者：刘晓为[1] 王蔚[1] 王喜莲[1] 刘玉强[1] 刘振茂[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学MEMS中心,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《传感器技术》2000年第3期18-20,共3页Journal of Transducer Technology

摘　　要：介绍了计算机模拟技术在微传感器和微执行器设计中的应用 ,通过对多晶硅压力传感器和微泵膜片的计算机模拟分析 ,优化了器件的结构设计。: The application of computer simulation for microsensor and microactuator design is presented. The designs of polysilicon pressure sensors and micropump membranes were optimized by computer simulation and ana- lysis. It is shown that computer simulation is the effective tool of microsensor and microactuator designs.

关 键 词：压力传感器 微泵 计算机模拟 微传感器 执行器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TP391.9[自动化与计算机技术—控制科学与工程]