基于有限状态机的集群式硅片传输控制系统设计  

Finite-state machine based wafer transfer control system design for cluster tool

作　　者：王海升[1] 穆海华[1] 尹文生[1] 

机构地区：[1]清华大学摩擦学国家重点实验室,北京100084

出　　处：《制造业自动化》2013年第2期4-7,共4页Manufacturing Automation

摘　　要：集群式IC装备硅片传输控制系统是高度复杂的离散事件动态系统,复杂逻辑调度是控制系统设计的核心问题。硅片传输设备的个体行为逻辑和协作行为逻辑都具有严格的时序性,有限状态机模型能够有效描述这一控制特征。利用有限状态机建立了硅片传输设备的个体行为分层模型,作为控制系统的基础;同时建立了具有强时序性的逻辑调度任务状态模型;从设备协作的角度讨论了有限状态机之间的同步问题和基于状态机协同的异常处理模式。自上而下的状态机体系成为控制软件系统的主体,使得装备的所有行为都在该体系的约束和引导下进行。应用实例表明,有限状态机在装备行为建模方面有广泛的应用潜力。

关 键 词：逻辑调度 有限状态机 硅片传输 集群式 

分 类 号：TP23[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH39[自动化与计算机技术—控制科学与工程]