穆海华

作品数：23被引量：147H指数：8
导出分析报告
供职机构：清华大学更多>>
发文主题：光刻机六自由度工件台音圈电机掩模更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学机械工程更多>>
发文期刊：《机械科学与技术》《中国电机工程学报》《微电机》《机械设计与制造》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
一种用于伺服运动系统的节能梯形轨迹快速生成算法被引量：1
《机械工程学报》2018年第7期152-159,共8页陈涵 穆海华 朱煜 
国家自然科学基金资助项目(51475261)
节能轨迹可有效减小伺服运动系统耗能与发热。针对现有节能轨迹生成算法复杂及难以用于实时工业控制的问题,提出一种被广泛应用于工业实际的梯形轨迹的节能快速生成算法。考虑调整梯形轨迹加速度、速度参数可改变轨迹形状,以梯形轨迹的...
关键词：伺服运动系统 梯形轨迹 节能 快速生成 
光刻机工作台运动控制中的若干关键问题被引量：5
《机械工程学报》2014年第8期165-173,共9页滕伟 穆海华 周云飞 
国家自然科学基金(51305135);北京高校青年英才(YETP0701);中央高校基本科研业务费(12MS06)资助项目
100 nm步进扫描投影光刻机是我国攻关研究的主流机型,工作台是实现其超精密性能的核心子系统。光刻机工作台采用粗、微复合的运动结构,其同步最大运动平均误差(<5 nm)和同步最大运动标准偏差(<12 nm)等性能指标对运动控制系统提出严苛...
关键词：工作台 运动控制 关键问题 精度实现 
基于有限状态机的集群式硅片传输控制系统设计被引量：1
《制造业自动化》2013年第2期4-7,共4页王海升 穆海华 尹文生 
集群式IC装备硅片传输控制系统是高度复杂的离散事件动态系统,复杂逻辑调度是控制系统设计的核心问题。硅片传输设备的个体行为逻辑和协作行为逻辑都具有严格的时序性,有限状态机模型能够有效描述这一控制特征。利用有限状态机建立了硅...
关键词：逻辑调度 有限状态机 硅片传输 集群式 
洛伦兹平面电机解耦控制与参数校准被引量：2
《中国电机工程学报》2012年第21期112-118,共7页滕伟 柳亦兵 武鑫 穆海华 
中央高校基本科研业务费资助项目(12MS06)~~
解耦控制策略与控制参数校准技术是实现洛伦兹平面电机超精密运动控制的关键。在已有的动力学模型的基础上,采用基于模型逆变换的方法构建洛伦兹平面电机三自由度运动控制结构,实现解耦控制。为进一步提高解耦控制精度,对运动系统中的...
关键词：洛伦兹平面电机 解耦控制 参数校准 最小二乘算法 
激光测量几何误差补偿算法被引量：10
《机械设计与制造》2011年第9期46-48,共3页温新 周云飞 穆海华 滕伟 
激光技术作为重要的测量手段,已经被广泛的应用到精密运动控制系统中。激光测量误差直接影响到运动控制系统的控制精度,其中阿贝与余弦误差等几何误差对激光测量精度影响显著,在精密运动控制中必须予以补偿与校正。以精密运动台多维激...
关键词：激光测量 阿贝误差 余弦误差 误差补偿 
光刻机工作台超精密运动与同步控制被引量：9
《机械工程学报》2011年第11期185-190,共6页滕伟 柳亦兵 穆海华 
中央高校基本科研业务费资助项目(09QG38)
以同步扫描的运动性能为目标,研究针对步进扫描投影光刻机工作台的超精密运动与同步控制策略。结合工作台的结构特点,提出一种粗、微复合运动控制方法,即:微动台纳米级微动,粗动台微米级跟随运动;以硅片台、掩模台的三阶轨迹规划与轨迹...
关键词：工作台 运动控制 同步状态 同步控制 
光刻机步进扫描运动轨迹重叠规划算法被引量：1
《机械工程学报》2010年第7期122-127,共6页穆海华 周云飞 周艳红 
国家自然科学基金(50775088);中国博士后科学基金(20080430971)资助项目
研究一种步进扫描投影光刻机的步进运动与扫描运动的轨迹重叠规划算法。根据给定的系统动力学约束,以保证最大加速度与最大速度不超限为目标,建立步进运动与扫描运动轨迹重叠规划的约束基准。依据该基准,分析步进运动与扫描运动轨迹重...
关键词：步进扫描运动 约束基准 轨迹规划 重叠 
步进扫描光刻机扫描运动轨迹规划及误差控制被引量：8
《机械工程学报》2010年第2期166-171,共6页穆海华 周云飞 周艳红 
国家自然科学基金(507775088);中国博士后科学基金(20080430971)资助项目
研究一种步进扫描投影光刻机工作台扫描运动超精密轨迹规划算法及误差控制策略。在分析三阶扫描运动与步进运动轨迹规划异同点的基础上,提出三阶扫描运动轨迹规划算法。针对扫描运动精确性与严格同步性要求,分析扫描运动轨迹规划误差补...
关键词：扫描运动 轨迹规划 精度控制 离散积分 
洛仑兹电机运动控制耦合机理分析及动力学建模被引量：16
《中国电机工程学报》2009年第15期95-100,共6页穆海华 周云飞 周艳红 
国家自然科学基金项目(50775088);中国博士后科学基金项目(2008430971)~~
长行程永磁直线电机粗动与短行程洛仑兹电机微动构成的复合运动可满足工作台的纳米级定位精度和跟踪精度要求,其中微动台是工作台纳米精度实现的核心,运动控制存在内部干扰耦合。该文分析洛仑兹电机运动控制的内部耦合因素及机理,建立...
关键词：洛仑兹电机 耦合机理 动力学模型 
超精密运动台激光测量模型及误差补偿算法被引量：17
《中国机械工程》2009年第12期1492-1497,共6页滕伟 周云飞 穆海华 杨亮亮 
国家自然科学基金资助项目(50775088)
分析激光测量中阿贝误差与余弦误差产生的原因,分两种情况讨论阿贝误差与余弦误差对测量光程的影响:一是忽略激光干涉仪加工误差与安装误差的理想模型;二是考虑干涉仪加工误差与安装误差的非理想模型。计算两种情况下测量光束的光程长度...
关键词：激光测量 阿贝误差 余弦误差 误差补偿 
全选清除导出
共3页<123>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部