低自噪声:迈向高性能MEMS麦克风应用的第一步  

作　　者：Jerad Lewis Paul Schreier 

机构地区：[1]ADI公司

出　　处：《今日电子》2013年第1期39-40,共2页Electronic Products

摘　　要：微机电系统（MEMS）麦克风具有MEMS器件的许多典型优势,包括超小尺寸、低功耗、性能稳定（不随时间和温度而变化）等。但是,这些麦克风的音频特性尚不足以满足某些设计要求,例如需要捕捉来自远处的声音或需要使用多个麦克风时。如今,高性能MEMS麦克风正在实现新的可能,许多声学专家会指出：自噪声是第一个需要考虑的特性。自噪声——您需要知道的事情任何麦克风都会产生一定水平的噪声,噪声源包括其电子电路、传感器元件和外壳等。

关 键 词：MEMS器件 性能稳定 麦克风 自噪声 应用 音频特性 微机电系统 传感器元件 

分 类 号：TN641[电子电信—电路与系统]