新型电容式微型压力传感器  

A Novel Capacitive Pressure Microsensor

作　　者：冯勇建[1] 卓勇[1] 许金海[1] 

机构地区：[1]厦门大学机电工程系福建省,厦门市361005

出　　处：《仪表技术与传感器》2000年第6期11-13,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：文中从应用开发MEMS产品的实用角度出发 ,着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的MEMS制造工艺。文中详细给出了这种电容式微型压力传感器的结构组成图、组成尺寸和它各部分部件的材料构成以及在硅材料加工过程中存在的主要技术难题。最后 。This paper introduces the producing technology of the capacitive pressure microsensor and MEMS structure of the capacitive microsensor.The information about composite diagram and dimension and material are given in the paper.In order to solve the special technics problem in producing microsensor,the diagrams for the producing technology are given in detail.

关 键 词：电容式 微型压力传感器 MEMS 

分 类 号：TH823.203[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]