全自动在线六维纳米测量系统  

Automatic 6-dimensional nano-measuring instrument

作　　者：胡凯[1] 侯文玫[1] 句爱松[1] 董洪波[1] 杨召雷[1] 

机构地区：[1]上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093

出　　处：《光学技术》2013年第1期33-36,共4页Optical Technique

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51075280);上海市教委重点学科第五期(J50505)

摘　　要：介绍了一种用于在线检测纳米定位平台的全自动六维纳米测量系统。提出了整波长干涉测量方法,可以避免激光干涉仪的非线性影响,使系统能够得到准确校准,达到纳米级精度。该测量系统可以测定6个自由度,三维直线运动测量范围为100μm×100μm×100μm,分辨率能够达到1nm以下。An automatic 6-dimensional nano-measuring instrument is built for the online inspection of nano-positioning stages. In order to get nanometer precision of the instrument, an integral wavelength measurement technique is developed, so that the influence of nonlinearity of laser interferometer can be avoided and the system can be calibrated exactly. The instrument has the measurement range of 1001μm in three linear dimensions with a resolution below 1 nm.

关 键 词：光学测量 纳米定位平台 整波长 激光干涉仪 非线性 

分 类 号：TH741[机械工程—光学工程]