SDB技术及其在传感器中的应用  

Technique SDB and Its Use in Sensors

作　　者：张佐兰[1] 

机构地区：[1]东南大学

出　　处：《传感器技术》1991年第6期30-33,共4页Journal of Transducer Technology

摘　　要：本文简要介绍了硅片直接键合(SDB)技术和pn结自停止电化学腐蚀减薄新技术以及该技术在传感器中的应用。The new techniques of silicon-director-bonding(SDB)and auto-sotp elecrochemical-etch and their use in sensors are briefly introduced

关 键 词：硅片键合 SDB 传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]