首台应用于AM—OLED显示屏制造的国产投影光刻机上线  

出　　处：《集成电路应用》2013年第9期44-44,共1页Application of IC

摘　　要：近日，由上海微电子装备有限公司自主研制的首台应用于AM—OLED显示屏TFT电路制造的2．5代投影光刻机SSB225／10A通过用户出厂验收，顺利发运全客户处上线试用。未来，SMEE还将为国内平板显示产业提供更高代TFT电路制造投影光刻机产品，为国内平板显示产业增强国际竞争力贡献力量。

关 键 词：OLED显示屏 投影光刻机 制造 AM 应用 平板显示产业 国产 国际竞争力 

分 类 号：TN873.3[电子电信—信息与通信工程]