双面对准光路系统设计  

Double-face Aligning Optics System Design

作　　者：高爱梅[1] 杨松涛[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176

出　　处：《电子工业专用设备》2013年第11期29-32,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：针对激光划片机中提出的双面图形加工要求,设计了双面对准光路系统,满足图形双面识别和激光划片的要求。介绍了正反面光路结构的设计、光源配置以及图像识别算法的应用,通过试验验证了该技术的可行性。Be aim at the double-face graphics machining of the laser dicing equipment.Designing double-face aligning optics system, sufficing for double-face graphics distinguishing and laser dicing. This article introduces face and obverse optics structure designing, illumination light configurable ,as well as graphics distinguishing arithmetic.The technology is viable confirmed by experiment.

关 键 词：激光划片 双面对准 光路结构 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]