激光划片

作品数：37被引量：37H指数：3
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基于声发射信号的纳秒激光划片轮廓监测
《应用激光》2023年第3期150-155,共6页王淼峥 荣佑民 
中国博士后科学基金项目(2020TQ0110)。
针对Al5083纳秒激光划片过程中产生沟槽和凸起两种轮廓的问题,研究了不同工艺参数下产生轮廓与映射声信号的关系。开展Al5083薄板纳秒紫外脉冲激光划片试验,观察轮廓的微观形貌,探究轮廓形成机制;采集声发射信号,小波包变换后分析声信...
关键词：激光划片 声发射 小波包变换 支持向量机 
基于台阶刻蚀工艺的GaInP/GaAs/Ge太阳电池激光划片研究被引量：1
《电源技术》2022年第5期549-551,共3页许军 铁剑锐 孙希鹏 康洪波 
通过湿法台阶刻蚀工艺,在GaInP/GaAs/Ge太阳电池晶圆上按设计尺寸做成切割槽,继而采用皮秒或纳秒激光划切晶圆衬底,完成尺寸误差低于10μm的电池切割,该工艺制备的太阳电池性能与金刚石砂轮划片效果等同。和金刚石砂轮划片工艺相比,激...
关键词：台阶刻蚀 激光划片 热效应 
蓝宝石片的皮秒激光划片工艺研究被引量：1
《红外》2020年第12期18-23,共6页张忆南 莫德锋 洪斯敏 李雪 
由于具有硬度高、热导低及脆性大的特点,蓝宝石材料的精细加工较为困难。对皮秒脉冲激光用于蓝宝石片划片的特点进行了分析和讨论。在此基础上,对用于红外焦平面组件封装的蓝宝石片的皮秒激光划片参数进行了研究,并得到了一系列优化参...
关键词：蓝宝石片 激光划片 皮秒脉冲激光 材料特性 
红绿双激光划片对半片电池与组件光电性能影响的研究
《电子器件》2020年第5期1046-1050,共5页张鑫 范维涛 勾宪芳 黄钧林 程晶 沈鸿烈 
国家自然科学基金项目(61774084);江苏省科技成果转化专项资金项目(BA2019047)。
高功率、低成本晶硅太阳能光伏组件是目前光伏行业发展的主流方向,半片电池组件技术因其能够显著提高组件测试功率而被广泛关注。本文研究了不同波长激光划片对电池片的损伤原因与影响,并首次采用红绿双激光划片技术,既避免了常规单波...
关键词：半片电池技术 红绿双激光 微隐裂 无损划片 发电功率 
圆片等离子划片工艺及其优势
《电子与封装》2020年第2期8-12,共5页肖汉武 
等离子划片是近年来兴起的一项新型圆片划片工艺。与传统的刀片划片、激光划片等工艺不同,该工艺技术可以同步完成一张圆片上所有芯片的划片,生产效率明显提升,是对现有划片工艺的一个颠覆。介绍了圆片划片工艺的工作原理、技术特点及...
关键词：等离子刻蚀 等离子划片 刀片划片 激光划片 多项目圆片 
红外焦平面组件封装中的皮秒激光划片工艺(下)被引量：1
《红外》2019年第11期13-16,共4页张忆南 莫德峰 洪斯敏 李雪 
在对皮秒激光划片加工所涉及的基本原理和设备进行简单介绍的基础上,对红外焦平面组件封装中常涉及的一些材料的特点及其与皮秒激光束的作用机理进行了梳理。通过优化激光参数设置提高了划片效率并保证了划片质量;通过改进工夹具避免了...
关键词：激光划片 皮秒脉冲激光器 红外焦平面阵列 组件封装 材料特性 
红外焦平面组件封装中的皮秒激光划片工艺(上)被引量：1
《红外》2019年第10期1-7,共7页张忆南 莫德峰 洪斯敏 李雪 
在对皮秒激光划片加工所涉及的基本原理和设备进行简单介绍的基础上,对红外焦平面组件封装中常涉及的一些材料的特点及其与皮秒激光束的作用机理进行了梳理。通过优化激光参数设置提高了划片效率并保证了划片质量;通过改进工夹具避免了...
关键词：激光划片 皮秒脉冲激光器 红外焦平面阵列 组件封装 材料特性 
用于InSb探测器芯片的激光划片工艺方案简析被引量：2
《红外》2018年第12期16-19,共4页李家发 曹立雅 张紫辰 侯煜 
针对InSb探测器芯片,基于紫外皮秒激光器搭建了定制化的光学平台和振镜系统。通过固定激光脉冲的重复频率,探讨了低能量多刀数以及高能量少刀数等工艺条件,获得了适合InSb探测器芯片激光划片的工艺条件。结果表明,热影响与崩边情况均可...
关键词：InSb材料 激光划片 热影响 崩边 
晶圆激光划片技术简析被引量：1
《电子工业专用设备》2018年第5期26-30,共5页高爱梅 张永昌 邓胜强 
针对晶圆划片工艺,分析了激光半划、激光全划、激光隐形划切和异形芯片的划切等工艺方法的特点。结合典型试验案例,提供了每种划片方式的适用领域,对晶圆划片具有一定的工艺参考价值。
关键词：晶圆划片 激光划片 半划 全划 
空间用三结砷化镓太阳电池激光划片技术研究被引量：3
《太阳能学报》2018年第5期1297-1301,共5页仇恒抗 苏宝法 池卫英 陆剑峰 贾巍 
上海市科学技术委员会资助项目(13ZR1457800)
以空间用三结砷化镓太阳电池激光划片为研究对象,对激光光源、功率、脉冲频率、划片速度等参数进行试验研究。研究结果表明：选用功率4 W、频率120 k Hz的355 nm紫外激光光源,采用50 mm/s的切割速度,对三结砷化镓太阳电池有良好的划片效...
关键词：三结砷化镓 太阳电池 激光划片 工程应用 
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