Air Water公司开发出功率半导体 用SiC基板批量生产技术  

作　　者：杨晓婵(摘译) 

出　　处：《现代材料动态》2014年第1期14-14,共1页Information of Advanced Materials

摘　　要：日本AirWater公司开发出在si基板上生成高品质SiC单晶薄膜的功率半导体和发光二极管等用的SiC基板批量生产技术，可批量生产世界最大的8英寸SiC产品。Sic适合GaN成膜，GaN有望用于高频器件等。使用AirWater公司的SiC基板，可容易地获得高品质GaN基板。该公司还生产、销售在SiC基板表面生成GaN单晶薄膜的基板。该公司在长野县安云野市建立了可在Si基板上成膜的SiC基板及GaN基板的单晶薄膜生产厂，并已投产。SiC产品尺寸为2～8英寸，GaN产品尺寸为2～6英寸，根据需要也可生产8英寸的产品。最大月产能6～8英寸时为2000片，2英寸时为1．6万片。

关 键 词：批量生产技术 iC基板 功率半导体 开发 单晶薄膜 IC产品 产品尺寸 GAN 

分 类 号：TN303[电子电信—物理电子学]