市场  

作　　者：王玲 

出　　处：《微纳电子技术》2014年第2期138-138,共1页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：SPTS科技DRIE模块订单超过1000件 SPTS科技宣布其深反应离子蚀刻（DRIE）模块的订单数量达到了新的里程碑，销量达1000件。该消息在新加坡MEMS论坛上发布，以彰显该国的MEMS市场飞速增长。DRIE是Bosch公司创始人RobertBosch于1994年利用其专利工艺开发的，而SPTS科技则是最早获得Bosch工艺许可的合作商，其于1995年推出了公司首款商业系统。

关 键 词：市场 Bosch公司 反应离子蚀刻 MEMS 工艺开发 商业系统 科技 新加坡 

分 类 号：TN405.983[电子电信—微电子学与固体电子学]