新型柔性电路自我修复电极  

出　　处：《机械工程师》2014年第2期I0006-I0006,共1页Mechanical Engineer

摘　　要：瑞十科学家日前研制出了一种新型电路，可以应用于人体组织以及隐肜眼镜，具有微小、柔性、透明等特点这种电路被印在厚度仪为1mm的聚对二甲苯（parylene）上，采用电子束蒸发、原子层沉积，旋涂和射频溅射法沉积等技术制造，之后经过紫外线光刻和蚀刻来创建结构。研究人员称，“之所以选用parylene作为承载材料，是因为其能够适应150℃的高温，并且不会被大部分溶剂腐蚀。

关 键 词：柔性电路 自我修复 PARYLENE 原子层沉积 电极 聚对二甲苯 电子束蒸发 射频溅射法 

分 类 号：TP333.35[自动化与计算机技术—计算机系统结构]