连续式扩散炉进气方式的分析与仿真  

The anlysis and simulation of inlet pattern of continuous diffusion furnace

作　　者：肖乐[1] 陆利新[1] 郑荣豪[1] 

机构地区：[1]上海大学机电工程与自动化学院,上海200072

出　　处：《制造业自动化》2014年第3期154-156,共3页Manufacturing Automation

基　　金：高效晶硅电池PN结制程工艺及全自动装备研制项目(11dz1202600)

摘　　要：依据连续式扩散炉的结构特点以及工作原理,设计出了一套不同于传统扩散炉的进气装置。由于气流在进气时存在损失,如果进气管上通气小孔设计成等间距等孔径的,会导致各个孔之间的出气流量不相等,从而无法实现炉管内部的均匀气氛场。因此,采用了一种变间距的设计方式,并利用流体力学的知识分析了气流的能量以及损失,结合推导出的公式计算出了各个小孔之间的合适间距。最后利用Fluent软件对这种设计方式进行仿真验证,得出的结果基本符合理论分析。

关 键 词：扩散炉 流体力学 

分 类 号：TH162[机械工程—机械制造及自动化]