陆利新

作品数：11被引量：21H指数：3
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连续式扩散炉进气方式的分析与仿真
《制造业自动化》2014年第3期154-156,共3页肖乐 陆利新 郑荣豪 
高效晶硅电池PN结制程工艺及全自动装备研制项目(11dz1202600)
依据连续式扩散炉的结构特点以及工作原理,设计出了一套不同于传统扩散炉的进气装置。由于气流在进气时存在损失,如果进气管上通气小孔设计成等间距等孔径的,会导致各个孔之间的出气流量不相等,从而无法实现炉管内部的均匀气氛场。因此...
关键词：扩散炉 流体力学 
PECVD非晶硅薄膜沉积三维热流场数值模拟被引量：1
《太阳能学报》2013年第6期1021-1027,共7页李桂琴 陆利新 金国军 王成刚 
上海市科委"科技创新行动计划"节能减排专项(10dz1204500);上海市重点学科建设项目(Y0102)
根据沉积非晶硅薄膜的实际PECVD反应室结构建立其几何模型,并在考虑反应室中表面化学反应的条件下建立三维热流场数值分析模型。据此对非晶硅沉积过程进行模拟,得到薄膜沉积过程中化学组分的分布情况以及薄膜的平均沉积速率。通过正交...
关键词：非晶硅薄膜 数字模拟 沉积速率 PECVD 
一种降低硅片方块电阻方差的通过式扩散方法被引量：2
《机械制造》2013年第3期26-29,共4页郑荣豪 陆利新 肖乐 
国家自然科学基金资助项目(编号:70771089)
为消除方块电阻不均匀性对太阳能电池板性能的影响,提出了一种通过式扩散方法。首先,设计了扩散炉结构,定义了通过式扩散方法的扩散步骤,并建立了方块电阻和扩散时间、扩散温度以及气体流量的关系的数学模型。其次,采用抽样统计方法,通...
关键词：通过式 方块电阻 方差 
太阳能电池连续式烧结炉温度场分析被引量：1
《计算机仿真》2013年第1期188-192,218,共6页李桂琴 仝韶华 陆利新 
上海市科委节能减排专项(10dz1204500);上海市重点学科建设项目(Y0102)
烧结炉炉膛温度的均匀性控制是确保高性能太阳能电池产品质量的关键技术。针对烧结炉炉膛内同时存在热传导、对流、辐射三种传热方式,且相互影响的复杂热流体状态,在分析烧结工艺的基础上,采用了新型环保节能的红外烧结方式,并从理论上...
关键词：烧结炉 传热 温度场 数值仿真 
连续式烧结炉加热功率计算模型
《热加工工艺》2012年第19期37-39,共3页陆利新 李桂琴 仝韶华 孙逸 
上海市科委攻关项目(10dz120450);上海市重点学科建设项目(Y0102)
根据热平衡原理,提出了一种新的连续式太阳能电池烧结炉加热功率的计算方法,建立了加热功率的计算模型。此方法克服了以往烧结炉功率计算方法的局限;并将计算结果与实际炉型比较,说明计算的功率值达到要求的精度,证明了方法的可靠性。...
关键词：连续式烧结炉 热平衡 加热功率 
新型海洋纵深温度监测浮筒系统的设计建模与仿真被引量：2
《机械设计与制造》2012年第9期22-24,共3页郑荣豪 陆利新 吴海生 
上海市科委科研项目(08DZ1205300);上海市重点学科建设项目(Y0102)
为实现海洋纵深垂直温度场分布的定点实时监测,研究了光纤测温传感技术和太阳能技术,设计了一种新型海洋测温浮筒。根据海洋工作环境对浮筒提出的浮力、抗倾覆性、强度以及密封性要求,建立了浮筒的几何模型。通过等效转换,建立浮筒在波...
关键词：光纤测温 浮筒 结构仿真 
PECVD反应室的气流场模拟分析被引量：6
《真空》2012年第3期42-46,共5页李桂琴 陆利新 王成刚 
上海市重点学科建设项目(Y0102)
本文利用计算流体力学(CFD)方法对某等离子增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)反应室流场进行了数值模拟研究,通过改变匀流板布孔方式、进气管与匀流板距离、进气管出口形状和角度、压强等条件,研究反...
关键词：CFD 均匀布气 数值模拟 PECVD 
红外隧道式烘干炉的研制被引量：3
《机械设计与制造》2011年第12期125-127,共3页孙逸 李桂琴 徐新虎 汤尤根 陆利新 
上海市科委2010年度"科技创新行动计划"节能减排专项(10dz1204500);上海市重点学科建设项目(Y0102)
针对现有传统的隧道式烘干炉加热效率低的不足,对红外线辐射原理进行研究,研制了一种红外隧道式烘干炉。结合二极管的烘干要求和所需特性,根据水分子的红外吸收光谱的特点,确定红外定向辐射器的类型及其布置方式,实现炉腔内温度场均匀...
关键词：红外 辐射 隧道式烘干炉 
高效太阳能电池薄膜生长工艺优化模型的研究及其意义被引量：2
《制造业自动化》2011年第5期43-46,共4页李桂琴 陆利新 叶晓军 李红波 夏士伟 
上海市重大科技攻关项目(10DZ1204500);上海市重点学科建设项目(Y0102)
薄膜化是降低太阳电池成本的主要手段和发展趋势,薄膜生长设备研制与通用设备的最大区别就是要与生产工艺密切配合。本文提出一种用于太阳能薄膜生长的工艺建模新方法,将计算智能技术与分形理论综合集成,利用计算智能方法提供的混合智...
关键词：薄膜生长 工艺建模 分形理论 计算智能 集成 
增强型等离子化学气象沉积炉均匀布气研究被引量：4
《计算机仿真》2010年第6期122-125,共4页王成刚 李桂琴 陆利新 王燕 
研究感应式射频等离子体技术,为提高离化率,利用流体力学的相关数值计算方法,对增强型等离子化学气象沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)设备的布气系统进行理论分析,得到平板布气装置中压力与孔径的关系。为了实...
关键词：匀流板 流体力学 仿真 均匀布气 
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