碳纳米管气敏传感器微电极的制备与检测  

Preparation and detection of the microelectrodes of a carbon nanotube gas sensor

作　　者：冉祥涛 王成响[1] 王志[1] 

机构地区：[1]山东省科学院海洋仪器仪表研究所,山东青岛266001

出　　处：《山东科学》2014年第1期22-26,共5页Shandong Science

摘　　要：基于参数优化设计了一种电场分布合理的叉指微电极结构,利用光刻技术在ITO表面成功制备了最小指间距约为4μm的叉指微电极,为微电极制备提供了一种可靠、低成本的制备方法。将这种微电极用于碳纳米管气敏传感器中,并利用氨气对其气敏特性进行测试,结果表明,纳米材料修饰的微电极气敏传感性能得到了明显提高。We devise a parameter optimization based interdigital microelectrodes （IMEs） structure with reasonable electric field intensity distribution.We manufacture the IMEs of 4 μm minimum gap on ITO surface by lithography.This provides a reliable and low-cost manufacturing method for IMEs preparation.We apply the IMEs in a carbon nanotube gas sensor,and detect gas-sensjng properties for it with ammonia.Results show that the IMEs structure significantly improves the performance of a nano-modified gas sensor.

关 键 词：光刻 叉指微电极 碳纳米管 传感器 

分 类 号：TP212.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]