王成响

作品数：1被引量：1H指数：1
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碳纳米管气敏传感器微电极的制备与检测被引量：1
《山东科学》2014年第1期22-26,共5页冉祥涛 王成响 王志 
基于参数优化设计了一种电场分布合理的叉指微电极结构,利用光刻技术在ITO表面成功制备了最小指间距约为4μm的叉指微电极,为微电极制备提供了一种可靠、低成本的制备方法。将这种微电极用于碳纳米管气敏传感器中,并利用氨气对其气敏特...
关键词：光刻 叉指微电极 碳纳米管 传感器 
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