微机电系统在计量领域的应用  

作　　者：王有忠[1] 

机构地区：[1]中国能源建设集团江苏省电力建设第三工程公司

出　　处：《中国计量》2014年第3期68-70,共3页China Metrology

摘　　要：一、微机电系统的发展现状 微型机械电子系统（Micro Electro Mechanical Systems，MEMS）是指由微传感器、微执行器、信号处理和控制集成电路以及微型能源等组成的、高度集成化的、具有信息获取、信息处理以及信息输出和控制功能的微型系统（Micro Systems），俗称微机电系统。

关 键 词：微机电系统 微型机械电子系统 SYSTEMS 应用 计量 控制集成电路 高度集成化 微传感器 

分 类 号：TH-39[机械工程]