微型机械电子系统

作品数：12被引量：34H指数：3
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相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
相关作者：蒋庄德赵立波赵玉龙王朝晖李勇更多>>
相关机构：西安交通大学大连理工大学清华大学天津大学更多>>
相关期刊：《中国计量》《煤矿机械》《测试技术学报》《核动力工程》更多>>
相关基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家重点实验室开放基金西安交通大学博士学位论文基金更多>>
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《测试技术学报》征稿启事
《测试技术学报》2024年第1期F0002-F0002,共1页《测试技术学报》编辑部 
《测试技术学报》(ISSN1671-7449 CN14-1301/TP)创刊于1986年,由中北大学主办,中国兵工学会指导,是“中国兵工学会测试技术学会”会刊,刊登有关测试技术的重点科研项目、基金项目的研究成果以及兵器及民用测试的应用技术,是“中国科技...
关键词：软件测试 数据压缩 中国兵工学会 人工智能 重点科研项目 微型机械电子系统 微波测量 环境测量 
《测试技术学报》征稿启事
《测试技术学报》2022年第5期F0002-F0002,共1页《测试技术学报》编辑部 
《测试技术学报》(ISSN 1671-7449 CN14-1301/TP)创刊于1986年,由中北大学主办,中国兵工学会指导,是“中国兵工学会测试技术学会”会刊,刊登有关测试技术的重点科研项目、基金项目的研究成果以及兵器及民用测试的应用技术,是“中国科技...
关键词：中国兵工学会 微型机械电子系统 重点科研项目 微波测量 电磁测量 环境测量 人工智能 核心学术期刊 
微型机械电子系统(MEMS)行业竞争格局与发展趋势分析
《消费电子》2022年第4期46-48,共3页赵振越 蔡勇 万成东 
MEMS是当前电子机械领域的一大热点方向,随着智能制造和物联网的不断发展,以MEMS为核心的传感器已经成为包括工业控制、生物医疗、军工装备、航空航天等众多领域必不可少的元素。MEMS受到行业和市场认可,一方面得益于其低能耗、高精度...
关键词：MEMS 行业发展趋势 传感器 
微机电系统在计量领域的应用
《中国计量》2014年第3期68-70,共3页王有忠 
一、微机电系统的发展现状 微型机械电子系统（Micro Electro Mechanical Systems，MEMS）是指由微传感器、微执行器、信号处理和控制集成电路以及微型能源等组成的、高度集成化的、具有信息获取、信息处理以及信息输出和控制功能的微...
关键词：微机电系统 微型机械电子系统 SYSTEMS 应用 计量 控制集成电路 高度集成化 微传感器 
《测试技术学报》征稿启事
《测试技术学报》2013年第4期368-368,共1页
《测试技术学报》是由＂中国兵工学会＂与＂中北大学＂合办的学术性刊物,本刊热忱欢迎国内外学者投稿。1．论文内容本刊重点报道有关测试技术的重点科研项目、基金项目的研究成果以及兵器及民用测试的应用技术，内容包括：声与超声测量...
关键词：测试技术 学报 微型机械电子系统 中国兵工学会 动态测试系统 学术性刊物 VXI仪器 传感器技术 
耐高温硅隔离压阻力敏芯片的研究被引量：1
《西安交通大学学报》2010年第9期59-63,92,共6页赵立波 赵玉龙 方续东 李建波 李勇 蒋庄德 
国家自然科学基金资助项目(50836004;50905139);西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室开放基金;机械工程学院青年教师基金资助项目
采用微型机械电子系统技术制作出了具有高精度、高频响特点的耐高温硅隔离压阻力敏芯片.根据压阻力敏芯片的版图设计结构,基于弹性薄板小扰度弯曲理论计算分析了压阻力敏芯片的结构尺寸和固有频率.采用静电键合工艺将压阻力敏芯片封装...
关键词：微型机械电子系统 硅隔离压阻力敏芯片 硼硅玻璃环 
倒杯式耐高温高频响压阻式压力传感器被引量：11
《西安交通大学学报》2010年第7期50-54,共5页赵立波 赵玉龙 李建波 梁建强 李勇 蒋庄德 
国家自然科学基金资助项目(50836004;50905139);西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室开放基金和机械工程学院青年教师基金资助项目
采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了高精度、高灵敏度的硅隔离(SOI)倒杯式耐高温压阻力敏芯片,利用静电键合工艺将力敏芯片封装到玻璃环上,再通过玻璃浆料烧结工艺或高温胶黏剂将玻璃环装配到齐平式机械结构上,从而避免了管腔效应...
关键词：微型机械电子系统 硅隔离倒杯式压阻力敏芯片 齐平式 预紧力 
基于β辐射伏特效应的同位素微电池理论模型研究被引量：8
《核动力工程》2006年第6期113-118,共6页褚金奎 朴相镐 吴红超 
国家自然科学基金项目(50475153);教育部新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-04-0266)
随着微型机械电子系统(MEMS)的发展,微能源逐渐成为MEMS应用中的一个非常关键的问题。在同时考虑了同位素的选择及其衰变类型、粒子能谱、放射粒子能量损失率、半导体特性、载流子的产生与复合等因素的基础上,提出了一个基于β辐射伏特...
关键词：微同位素电池 微型机械电子系统 理论模型 
特种压阻式加速度传感器的研制被引量：3
《西安交通大学学报》2006年第9期1049-1052,共4页赵立波 赵玉龙 蒋庄德 
国家高技术研究发展计划MEMS重点基金资助项目(2004AA404220);国家自然科学基金资助项目(50475085;50535030);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NFCT-05-0842)
通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接...
关键词：微型机械电子系统 固态压阻平膜芯片 弹性梁 高过载 加速度传感器 
柔性铰链微夹持机构的研究被引量：11
《西安交通大学学报》2004年第5期483-486,共4页田世杰 李兵 赵惠英 王朝晖 
西安交通大学博士学位论文基金资助项目
在研究柔性铰链的基础上,介绍了平面柔性铰链微夹持机构的设计与制作,并对此进行了张合实验.利用解析法和实验,分别得出了平面柔性铰链夹持机构的放大倍数和总张合量.通过调整杠杆机构各个臂长之间的关系,就可以改变微夹持机构的放大倍...
关键词：微型机械电子系统 柔性铰链 微夹持机构 
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