纳米结构的制备及单电子器件研究  

NANOFABRICATION AND SINGLE ELECTRON DEVICES

作　　者：王太宏[1] 李宏伟[1] 贾海强[1] 李卫[1] 黄绮[1] 周均铭[1] 

机构地区：[1]中国科学院物理研究所，北京 100080

出　　处：《物理》2001年第1期3-5,共3页Physics

基　　金：国家自然科学基金(批准号:69925410;19904015)

摘　　要：建立了单电子器件的制备工艺和单电子器件的分析、测量系统 ,研究了有潜在应用价值的纳米结构加工技术 ,制备了适合光电集成的多种纳米结构 ,发展了常规光刻法制备单电子器件的多种技术 .其中 ,在生命科学和信息领域有着广泛应用的“纳米电极对”引起了国内外专家的重视 .发展以“纳米电极对”为基础的单电子器件及其应用是我们目前的主要研究方向 .目前我们正在探索这种单电子器件在生命芯片、微电子系统集成方面的应用 .We have set up a nanofabrication facility and a single\|electron measurement system,and have successfully realized nanofabrication by optical lithography.This technique is especially suitable for fabricating high temperature single\|electron devices.With this method we have fabricated nanoelectrode\|pairs which have potential applications in developing genetic chips and in microelectronics integration.

关 键 词：单电子晶体管 纳米加工技术 量子点 纳米结构 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程] TN32[电子电信—物理电子学]