工艺和技术 UHV相容的空心阴极电弧源的研制  

作　　者：拾灵 

出　　处：《等离子体应用技术快报》2000年第11期5-7,共3页

关 键 词：超高真空 相容 空心阴极电弧源 等离子体源 

分 类 号：TL629.1[核科学技术—核技术及应用]