通过对微波电场的分布控制产生高度均匀的ECR等离子体  

作　　者：余晖 

出　　处：《等离子体应用技术快报》2000年第11期10-11,共2页

关 键 词：蚀刻设备 等离子体源 微波电场 分布 控制 ECR 等离子体 

分 类 号：TN405.98[电子电信—微电子学与固体电子学] TL629.1[核科学技术—核技术及应用]