Avago Technologies采用TSV制备MEMS滤波器  

出　　处：《微纳电子技术》2014年第4期273-273,共1页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：AvagoTechnologies公司的BAW滤波器是一款采用其薄膜体声波谐振器（FBAR）与微帽技术制备的全硅MEMS产品，每年量产超过10亿台，市场份额为659／6，显然其在BAW滤波器市场占主导地位。

关 键 词：BAW滤波器 MEMS 制备 TSV 薄膜体声波谐振器 市场份额 

分 类 号：TN929.53[电子电信—通信与信息系统]