使用背散射与二次离子质谱方法分析类金刚石厚样品中的杂质  

Combination of RBS and SIMS Methods in the Analysis of Trace Elements in Thick DLC Sample

作　　者：郭猜[1] 郑涛[1] 刘坤[1] 杨江燕[1] 田继挺 聂锐[1] 马宏骥[1] 丁富荣[1] 

机构地区：[1]北京大学物理学院核科学与核技术国家重点实验室,北京100871

出　　处：《核电子学与探测技术》2014年第2期156-159,共4页Nuclear Electronics & Detection Technology

摘　　要：卢瑟福背散射分析是测定薄膜或镀层成分和厚度的成熟手段,但在分析含多种微量元素成分的厚样品时,精确测定样品中多种元素的分布是比较困难的。二次离子质谱对样品表面成分有较高的质量分辨能力,可以作为对卢瑟福背散射分析的补充。在北京大学2×1.7 MV串列静电加速器终端上,结合使用这两种分析方法,分析了类金刚石厚样品中的金属元素杂质。Rutherford Back Scattering spectroscopy （ RBS） can be used to analyze the distribution and content of heavy elements in foils .Moreover , for thick samples , to identify the elements and determine the distribution is quite difficult.Secondary Ion Mass Spectrometry （SIMS） with a high resolution can be a supplement to the RBS analysis.In the lab of 2 1.7MV tandem accelerator in Peking University , these two analysis methods are com-bined to analyze trace elements in thick diamond like carbon （DLC） material.

关 键 词：卢瑟福背散射 二次离子质谱 类金刚石薄膜 

分 类 号：O571.33[理学—粒子物理与原子核物理] TL817.8[理学—物理]