TiAl合金薄膜在MEMS领域中的应用研究和进展  

Application Research Process on TiA1Alloy Film in MEMS Field

作　　者：水露雨[1,2] 严彪[1,2] 

机构地区：[1]同济大学材料科学与工程学院,上海201804 [2]上海市金属功能材料开发应用重点实验室,上海201804

出　　处：《金属功能材料》2014年第3期44-48,共5页Metallic Functional Materials

基　　金：国家自然科学基金(No.51071109)资助项目

摘　　要：MEMS技术作为一种新兴的高端制造技术受到全球的重视,成为研究热点。随着TiAl合金薄膜的研究和应用发展,其优异的高温力学性能和抗腐蚀性能提高了MEMS系统的应用范围。阐述了TiAl合金薄膜的制备技术,生长模式和微观结构,并介绍了TiAl合金薄膜在MEMS上的应用研究进展。As a rising advanced manufacturing technology,MEMS（Micro Electromechanical System） is making great sense,and becoming a research hotspot Along with the development of research of TiAl alloy thin film,the application performance of MEMS is greatly raised,owing to the outstanding high temperature property and resistance to corrosion from TiAl alloy thin film.The preparative technique,growth pattern and micro-structure of TiAl thin film are summarized.The application of TiAl alloy thin film in the MEMS field is also introduced.

关 键 词：MEMS TiA1合金薄膜 磁控溅射 生长模式 制备方法 

分 类 号：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]