阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究  

RESEARCH ON "CATHODE-ON-MEMBRANE" VACUUM MICROELECTRONIC PRESSURE SENSOR

作　　者：陶新昕[1] 夏善红[1] 苏杰[1] 陈绍凤[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室,北京100080

出　　处：《电子与信息学报》2001年第1期81-84,共4页Journal of Electronics & Information Technology

基　　金：国家863计划;国家自然科学基金

摘　　要：该文提出了“阴极-敏感薄膜复合”结构的新型真空微电子压力传感器,并研制出了“阴极-敏感薄膜复合”结构,对硅薄膜在外力作用下产生的形变及其应力分布进行了计算机模拟计算,并讨论了薄膜结构参数对其敏感特性的影响。This paper proposes a novel 'cathode-on-membrane' vacuum microelectronic pressure sensor. The 'cathode-on-membrane' structure has been fabricated. The properties of the silicon membrane under pressure are simulated, and the effects of the parameters of membrame structure on the sensitivity are discussed.

关 键 词：真空微电子 压力传感器 阴极-敏感膜 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]