苏杰

作品数：1被引量：2H指数：1
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发文主题：真空微电子传感器集成温度传感器压力传感器阳极更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电气工程电子电信更多>>
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阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究被引量：2
《电子与信息学报》2001年第1期81-84,共4页陶新昕 夏善红 苏杰 陈绍凤 
国家863计划;国家自然科学基金
该文提出了“阴极-敏感薄膜复合”结构的新型真空微电子压力传感器,并研制出了“阴极-敏感薄膜复合”结构,对硅薄膜在外力作用下产生的形变及其应力分布进行了计算机模拟计算,并讨论了薄膜结构参数对其敏感特性的影响。
关键词：真空微电子 压力传感器 阴极-敏感膜 
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