MEMS系统级仿真建模理论与方法的研究  

On The Modeling Methodology of MEMS System-Level Simulation

作　　者：孙道恒[1] 黄元庆[1] 郑炜[1] 朱立秒[1] 李文望[1] 

机构地区：[1]厦门大学机电工程系,福建厦门361005

出　　处：《厦门大学学报（自然科学版）》2001年第2期297-302,共6页Journal of Xiamen University：Natural Science

基　　金：教育部<高等学校骨干教师资助计划>;厦门大学自选课题资助项目

摘　　要：实现集设计、加工及运行等整个过程的计算机仿真为一体的微机电系统的计算机辅助设计是微机电系统真正走向商品化的重要基础 .系统级仿真是 MEMS CAD最为关键的重要环节 .概括了 MEMS CAD的体系结构 ;着重介绍了适合于 MEMS系统级仿真的两个基本模型的基本思想、构造方法 .提出用加权残值法 (MWR)建立 MEMS系统级仿真模型 ;论述 MEMS系统级仿真的 MWR建模原理与方法 .提出运用演化算法进行自动化、智能化建模的基本思想 .MEMS CAD, by which the simulation of MEMS design, manufacture and operation all can be realized, is the significant foundation of its merchandise. The system level simulation is one of the critical phases. In the paper, the hierarchy of the MEMS CAD, the modeling methodology of the NODAS and the Black Box for system level simulation is introduced. The modeling methodology based on the MWR (Method of Weighted Residuals), which may be the uniform modeling method of MEMS system level simulation, is proposed.

关 键 词：微机电系统 MEMS 耦合场计算 系统级仿真 CAD 体系结构 加权残值法 建模 

分 类 号：TH－39[机械工程]