多晶硅发射极技术在八位高速视频DAC中的应用  

作　　者：樊崇德[1] 王怀荣[1] 陆剑侠[1] 朱宝法 张沈军[1] 

机构地区：[1]电子工业部东北微电子研究所,沈阳110032

出　　处：《微处理机》1996年第1期62-64,共3页Microprocessors

摘　　要：掺磷（砷）多晶硅形成NPN晶体管发射结是提高fT及双极集成电路工作速度的最佳途径之一，目前被广泛应用。通过对LPCVD多晶硅生长、掺杂、退火及刻蚀工艺研究，确定制造高fT及β值的NPN晶体管最佳工艺条件及参数控制，研制出速度小于4ns高性能多元逻辑八位高速视频D／A转换器集成电路。该产品主要电参数性能已达到及部分超过了目前国际先进产品的水平。

关 键 词：数-模转换器 视频 DAC 多晶硅发射极 

分 类 号：TP335.4[自动化与计算机技术—计算机系统结构]