SOI—21世纪的硅集成电路技术  

SOI——Si IC Processing Technology of the 21st Century

作　　者：张廷庆[1] 

机构地区：[1]西安电子科技大学,西安710071

出　　处：《电子元器件应用》2001年第3期5-8,30,共5页Electronic Component & Device Applications

摘　　要：本文扼要介绍 SOI 材料的制备技术、SOI 的优越性以及 SOI 的应用。The fabricating technology,advantages and its application of silicon on insulator(SOU are briefly described in the paper.

关 键 词：绝缘衬底 硅集成电路技术 SOI 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]