利用MEMS技术制作MMIC的三维电容电感和滤波器  

作　　者：张海涛[1] 齐臣杰[1] 刘理天[1] 

机构地区：[1]清华大学微电子研究所

出　　处：《世界电子元器件》2001年第5期58-60,共3页Global Electronics China

摘　　要：随着信息时代的发展,对于无线通信设备中的一些外接的分立元件的微型化、低功耗及可携带性提出了更高的要求.现在通常采用单片微波集成电路(MMIC)技术来制作微波电路器件.

关 键 词：MEMS技术 微波集成电路 三维电容电感 滤波器 

分 类 号：TN454[电子电信—微电子学与固体电子学] TN713