激光激发兰姆波(英文)  

Lamb waves generated by laser

作　　者：吴一辉[1] 贾宏光[1] 鞠挥[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130022

出　　处：《光学精密工程》2001年第4期299-303,共5页Optics and Precision Engineering

基　　金：中国科学院院长特别基金;国家973(G1999033102)资助

摘　　要：用激光激发超声兰姆波是近年提出的一种新的微传感器构成方法。本文从光－热－声波转换的基本原理出发，推导出激光在硅薄膜中激发兰姆波的条件和产生给定模式兰姆波的方法，给出了具体的实验设置、初步实验结果和数据分析。A modulated continuous wave argon ion laser has been used to get lamb waves in silicon membrane. In this report, the basic principles of conversion for optics to thermal then acoustic waves are deduced. The experimental set - up, the analysis of the results and the possibl way to obtain a given mode of lamb wave are described.

关 键 词：激光 兰姆波 传感器 硅薄膜 微传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN24[自动化与计算机技术—控制科学与工程]