鞠挥

作品数：13被引量：87H指数：4
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：光谱仪光栅湿法腐蚀光纤光谱仪微型光谱仪更多>>
发文领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《光学精密工程》《微细加工技术》《仪器仪表学报》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划中国科学院知识创新工程中国科学院知识创新工程重要方向项目中国科学院院长特别基金更多>>
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用于微型生化分析的光探测系统被引量：1
《光谱学与光谱分析》2005年第4期633-636,共4页李锋 吴一辉 赵华兵 鞠挥 
国家"8 63"及中国科学院二期创新项目资助
针对微生化芯片样品剂量少和与微流体芯片集成等要求,设计了两种在芯片内用分光光度法对混合后液体的吸收光谱进行探测的方法。实验利用5 10～84 0nm的可见光光源,采用了直接探测法和消逝波探测法对样品进行探测。通过两种方法的比较证...
关键词：探测系统 生化分析 消逝波探测法 直接探测法 微型 分光光度法 芯片集成 吸收光谱 样品量 微流体 可见光 灵敏度 
偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作被引量：6
《光子学报》2004年第6期755-757,共3页鞠挥 张平 王淑荣 吴一辉 
国家 973 G19990 3310 7;中国科学院知识创新工程项目资助
硅光栅的制作可以利用湿法腐蚀体硅工艺 湿法腐蚀利用硅的各向异性 ,由硅的晶面形成光栅工作凹槽 ,利用湿法工艺可以制作在不同光谱波段内工作的闪耀光栅 设计了一种利用偏晶向 (111)硅片制作闪耀光栅的方法 ,使用这种方法可以批量制...
关键词：(111)硅片 闪耀光栅 体硅技术 湿法腐蚀 
基于OSLO的小型光谱仪的设计
《光学精密工程》2004年第z2期42-44,共3页刘剑 鞠挥 赵华兵 吴一辉 
小型光谱仪可以实现在线、现场以及实时化光谱分析.本文设计了一种交叉光路Czerny-Turner结构的小型光谱仪,使用美国Lambda Research公司开发的OSLO光学设计软件对光谱仪进行了分析.利用汞灯对该小型光谱仪进行了分辨率测试,可以分辨577...
关键词：小型光谱仪 光学设计 分辨率 
两种用于微型生化分析的光探测方法被引量：1
《传感器技术》2004年第2期18-20,共3页李锋 吴一辉 赵华兵 鞠挥 
国家863MEMS重大专项经费支持(2003AA404181);中国科学院二期创新项目
针对微流控分析芯片样品剂量少与微流体芯片集成等要求,设计了两种易于集成在芯片内的,用分光光度法对混合后液体的吸收光谱进行探测的方法。实验利用460～800nm的可见光光源,采用了直接探测法和消逝波探测法对样品进行探测。通过两种...
关键词：微流控分析芯片 微流体芯片 分光光度法 吸收光谱 消逝波探测法 直接探测法 自聚焦透镜 微型光纤光谱仪 
偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计
《微细加工技术》2003年第4期18-21,26,共5页鞠挥 张平 王淑荣 吴一辉 
国家重点基础研究规划资助项目(973-G1999033107);中科院长春光机所创新工程资助项目(C02X01Z);青年基金资助项目(CO1Q07)
利用硅单晶的特殊结构可以设计出不同角度的闪耀光栅,再使用MEMS的紫外光刻、各向异性腐蚀等常规工艺就可以完成硅闪耀光栅的制作。设计了一种利用偏转晶向(111)硅片制作小角度闪耀光栅的方法,避免了利用其它晶向的硅片制作闪耀光栅的...
关键词：闪耀光栅 偏晶向硅片 体硅 湿法腐蚀 微制造 
MEMS和微流体分析系统的发展被引量：1
《光机电信息》2003年第7期27-31,共5页鞠挥 吴一辉 
微机电系统 (MEMS)是在微电子及微机械等学科基础上发展起来的新兴多学科交叉研究领域 ,是当今科学技术最具潜力的发展方向之一 ,而微型流体分析系统是这一研究领域中的热点。本文综述了MEMS技术以及作为MEMS技术一个重要研究方向的微...
关键词：微机电系统 微流体分析系统 MEMS 发展 
微生化芯片内光探测的研究
《微纳电子技术》2003年第7期365-368,共4页李锋 吴一辉 鞠挥 贺敏英 
针对微生化芯片样品量少、需要与微流体芯片集成等要求 ,设计了两种在芯片内用分光光度法 ,对混合后液体的吸收光谱进行探测的方法。光探测部分是微型生化分析芯片的重要组成部分。原理性实验利用 4 6 0～ 80 0nm的可见光光源 ,采用了...
关键词：生化分析仪器 微生化芯片 光探测 吸收光谱探测 直接探测法 消逝波探测法 
微型光谱仪的发展被引量：29
《微纳电子技术》2003年第1期30-37,共8页鞠挥 吴一辉 
随着MEMS、微光学等微制造技术的发展,光谱仪器的微型化成为可能,光谱仪的微型化是光谱仪器的一个重要发展方向。本文根据国内外正在进行的微型光谱仪的研制工作,对微型光谱仪的发展进行了比较全面的综述,最后对研究微型光谱仪的意义进...
关键词：微型光谱仪 微机电系统 微光学 微制造技术 
硅光栅的制作与应用被引量：4
《微纳电子技术》2002年第2期29-33,共5页鞠挥 吴一辉 王立鼎 
中科院知识创新工程项目(C01Q04);中科院长春光机所青年创新基金项目(C01Q07)
硅是一种良好的近红外材料。硅光栅的发展迄今已有20多年历史,在制作方法和应用上都有了较大的发展。硅光栅的微加工工艺可以分为体硅工艺和面硅工艺,这些微加工方法在技术上与微电子及微机械工艺可以兼容。本文介绍了硅光栅的制作及其...
关键词：硅 光栅 微加工技术 制作 应用 
激光激发兰姆波(英文)被引量：1
《光学精密工程》2001年第4期299-303,共5页吴一辉 贾宏光 鞠挥 
中国科学院院长特别基金;国家973(G1999033102)资助
用激光激发超声兰姆波是近年提出的一种新的微传感器构成方法。本文从光－热－声波转换的基本原理出发，推导出激光在硅薄膜中激发兰姆波的条件和产生给定模式兰姆波的方法，给出了具体的实验设置、初步实验结果和数据分析。
关键词：激光 兰姆波 传感器 硅薄膜 微传感器 
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